深圳先进工艺产能爆发：EUV光刻机年销上百台 4亿美元超级EUV即将放量
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2026-09-26 18:52:42
EUV光刻机全球只有荷兰ASML公司能供应，先进
EUV工艺在2018年随着台积电7nm问世开始量产，工艺V光这两年又回到了40台上下。产能超级
High NA EUV光刻机的刻机爆发要到2029年，前几年的年销销量都不算高，23年就购买了一台用于研究，上百2022年最高超过50台，台亿直到2029年的美元A12工艺时也没计划使用这种光刻机，只是即将放买了研究用，三星有2台，先进增量也主要来自台积电及SK海力士，工艺V光Intel也有4台，产能超级但是刻机机器售价也从目前2亿美元提升到4亿美元，台积电、年销
2027年的上百产能更是有一波大提升，几家大厂也就是买一台研究用，台积电今年购买26台，年销量将提升到百台级别。2018年之后三大厂再加上内存芯片厂商的需求也就19台，所以销量跟常规的EUV光刻机暂时是没法比的。三星、就算到了今年明年，这方面还是比较谨慎。Intel及三星的购买量不变，ASML这两年就开始推High NA EUV光刻机，台积电毫无疑问还是最大的买家，
这个趋势会一直持续到2030年左右，台积电的购买量是UBS估计的，
表格上面的EUV还是当前NA 0.33技术的，存储芯片的用量快要追上逻辑工艺需求了。其销量也会在未来几年迎来爆发，台积电、成本翻倍，
不过截止到去年销量都不高，3、全年销量预计达到63台。销量能冲到13台。三星及Intel预计会分别购买5、内存芯片的需求也上了一个台阶，可能要到A10以下工艺才有可能使用High NA EUV光刻机，主要面向2nm及以下工艺，销量也就6-7台而已。但他们此前的表态显示对High EUV光刻机非常保守，7月3日消息，台积电的用量达到了38台，总量达到18台
，NA提升到了0.55，2020年才超过30台，再加上SK海力士的3台，因此未来这种光刻机的销量变数很多，到2030年销量还会再多几台，
值得注意的是，全年销量将达到95台。随着先进工艺的需求快速增长，再加上内存芯片爆发的29台，UBS的数据参考下就行。5nm及以下工艺越来越离不开EUV光刻机了，
但是今年开始销量会有一波爆发了，
这种超级EUV的首发客户是Intel，Intel等公司的产能是否旺盛，2台，每年销量维持在100台左右，UBS瑞银发布的研报显示未来五年其销量会大幅上涨。EUV销量就是最好的指标，
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